扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用经电磁透镜偏转后高度会聚的高能电子束来扫描样品, 通过电子束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，在材料科学、生命科学、工业制造、地球科学等领域均有着十分广泛的应用。Phenom Pure扫描电镜具备自动对焦和自动定位的功能，具有光学彩色导航相机，放大倍数是27 X，电子光学放大倍数为20 ~ 175000 X，分辨率可达10 nm，图像可选像素有960 X 600、1920 X 1200、3840 X 2400和7680 X 4800四种；配有背散射电子和二次电子两种探测器；加速电压有5 kV和10 kV两种。
